二手 ASML PAS 5500 / 700 #9046362 待售

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ID: 9046362
晶圓大小: 3"-8"
Stepper / scanner, 0.15um DUV, 3"-8" Fully automated wafer handling system 2" with holders capable.
ASML PAS 5500/700是用於制造半導體元件的先進晶圓步進設備。該機器由專業制造商ASML開發,旨在為設備制造商提供一種準確制造和測試部件的高效可靠的方法。該工具利用最先進的光學和電子設備來提供生產最優質半導體元件所需的精度和能力。該系統具有獲得專利的5軸運動設計,包括兩軸掃描級、兩軸定位級和直接驅動電動機。它允許從運動階段中移除非關鍵元件,如平衡重量,從而提供更高的準確度和穩定性,並提高運行速度。另外,整個裝置安裝在空氣軸承上,以提高穩定性和減振特性。PAS 5500/700融合了一系列軟件和成像功能,包括增強的3D圖像分析和處理、高性能的自動鏡頭校準機以及先進的缺陷分析算法,以確保更好的質量控制。它還具有全面的安全功能和監控功能,可提供全面的數據記錄和審查,以進行深入、實時的流程分析。該工具還包括自動工藝校正,以消除對晶片的任何外部幹擾或影響。ASML PAS 5500/700是一種高度精確的儀器,具有用戶友好的控制功能。它提供集成的熱控制,使資產保持在穩定的溫度範圍內,從而實現精確的光學和電子性能。這一模式的運作是對其所有子系統進行全面的自我監控,包括實時後退和升級能力。實時遙控器還為操作員提供了廣泛的可視化、數據收集和診斷工具,以進行有效的監測和維護。該設備利用技術為設備制造商提供最佳性能和產量。借助PAS 5500/700,半導體元件制造商可以放心地擁有可靠、準確和高效的系統。
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