二手 ASML PAS 5500 / 700B #293817853 待售

ASML PAS 5500/ 700B晶片步進器是一種用於半導體器件制造的高精度光刻工具。PAS 5500/ 700B結合了高端光學、設計功能和專用軟件,可以在分辨率低至0.33微米的矽晶片上精確繪制設計層圖案。該設備基於行業標準的步進重復對齊和曝光光刻工藝。光柱采用交替光圈繼電器光學技術，最大限度地提高圖像分辨率，同時最大限度地減少離軸光效應造成的失真。該系統配有4通道段（4Cs）單元，使晶圓上不同焦點位置的特征能夠曝光。這使得機器可以更精確地聚焦光線，從而在傾斜方向上獲得更高的分辨率。掃描儀馬達是刀具中的主要部件，非常先進，精確控制晶圓的X-Y線性運動。在控制振動和抖動的同時，具有快速曝光的高速度和精確曝光的高精度。步進器還包括照明資產、標線級、晶片卡盤、成像透鏡和圖像控制單元等幾個子系統組件。照明模型包含一組各自的顯示燈、冷凝器和狹縫燈。使用專門的軟件，這些組件用於提供設計層的精確曝光。標線級是一個6度自由度級，用於在正確方向和對準上移動掩模，並在焦平面上提升分辨率。晶片卡盤負責保持晶片表面的焦點和平坦度，以確保發射時光的精確分布。成像透鏡是用專門的材料構建的，以便將圖像傳輸到掩模上。它包含一個像差校正設備，以確保低失真。最後，圖像控制單元（ICU）負責控制整體曝光時間和條件，以確保晶圓的準確曝光。所有這些組件協同工作以確保高分辨率圖像在晶圓上的重復曝光。憑借其高端技術,ASML PAS 5500/ 700B非常適合芯片制造商生產高性能組件。