二手 ASML PAS 5500 / 700D #293655013 待售

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ID: 293655013
i-Line scanner Chamber.
ASML PAS 5500/ 700D是一種先進的晶圓步進器,用於半導體工業生產集成電路(IC)。它在芯片上提供非常精細和準確的功能,而不會影響吞吐量。PAS 5500/ 700D集成了CAD到掩碼發生器、投影光學和集成掃描成像功能,可實現最快的半導體光刻工藝。它能夠用圖樣掃描整個標線場,然後將其投影到晶圓上,以生成具有最高可實現精度和細節的IC。ASML PAS 5500/ 700D的核心是先進的ASML投影光學元件,它能夠提供14納米的光斑尺寸。這樣可以準確生成最小的特征大小,通常僅為節點數的十分之一。模式發生器還利用了一些創新技術,如非線性遮罩和高級照明選項,以確保最終產品的特征尺寸盡可能準確。此外,PAS 5500/ 700D帶有自動標線加載器,可快速更改標線並縮短周期時間。此外,ASML PAS 5500/ 700D采用專用塗層系統,通過同時塗抹濕塗層和幹塗層在晶片上提供最高質量的塗層。此外,它還集成了先進的冷卻系統,使機器在最佳溫度下運行,從而獲得最佳性能。總體而言,PAS 5500/ 700D是一種功能強大的高性能晶圓步進器,可提供無與倫比的精度和吞吐量。其先進的特性和技術使其成為任何必須生產精細準確特性的半導體制造工藝的理想選擇。
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