二手 ASML PAS 5500 / 750 #293812077 待售

ASML PAS 5500/750是一種設計用於半導體晶圓加工的500萬像素掃描電子束光刻（EBL）工具。它能夠以高達每秒50納米的掃描速度曝光分辨率高達0.3微米的各種芯片幾何形狀。光刻工具的主要功能是在晶圓表面上創建錯綜復雜的亞微米圖案，允許制造更密集的、性能更高的集成電路。為了做到這一點，晶片安裝在一個XY級，並通過從四個線性級下降的光束。電子束被磁體組件偏轉，由雙極電源、兩個獨立的同軸線圈和兩組不同的偏轉線圈組成。電源產生電子束，線圈控制電子束的大小、形狀和運動。它能夠產生非常精細、復雜的特性，能夠滿足現代半導體工藝的需求。電子生產環境非常清潔，減少了汙染的幾率。該工具設置在真空室中，提供無灰塵、氣態汙染物和微粒的環境。光刻系統也以較高的工程水平交付，以控制其溫度和濕度。PAS 5500/750是尋求可靠和精確EBL解決方案的用戶的理想選擇。它具有高效率和易於使用的直觀軟件，使操作過程簡單明了。它的高精度保證了最終結果的最高質量和規格。該工具具有許多用戶友好的功能，如簡化晶圓曝光過程的圖形作業編輯器，消除不均勻掃描效果的均勻光束掃描功能，以及功能豐富的用戶界面。它還帶有一套安全功能，以盡量減少意外汙染晶圓的風險。這對於半導體行業的人們來說是一個必不可少的工具，它提供了一種在晶圓表面上產生復雜圖樣的可靠和經濟高效的方法。對於任何尋求更精確光刻解決方案的人來說，這都是一個絕佳的選擇。