二手 ASML PAS 5500 / 750E #293809107 待售

ASML PAS 5500/ 750E是用於生產集成電路的晶圓步進器（又稱光刻機）。它能夠產生高達75微米分辨率的物體--以高精度和高速度創建接線和晶體管。PAS 5500/ 750E通過一系列步驟實現了這一點。首先，晶片被放置在舞臺上，並保持在與真空的地方。然後將此級水平或垂直對齊機器的光學元件。舞臺正確定位後,ASML PAS 5500/750E的弧形標線或蒙版與晶片對齊。掩模的弧形精確地遵循晶片的輪廓，使其能夠有效地分離晶體管，並將圖樣從掩模轉移到晶片上。PAS 5500/ 750E然後使用步進設備使用電動級和反射照明系統將掩模精確地放置到晶片上。此階段可以沿兩個方向移動：theta軸旋轉蒙版,而z軸允許蒙版上下移動以使不同的層變形。ASML PAS 5500/ 750E還有一個紫外線激光照明器，它發出紫外線使晶片暴露。這種照明然後通過弧形遮罩進行過濾，只允許某些波長通過。此過程重復數次，將芯片的每一層曝光，以創建所需的電路。最後,PAS 5500/ 750E使用高級軟件來控制整個單元,並確保準確打印圖層。如果出現異常,此軟件還有助於調試打印錯誤。總體而言，ASML PAS 5500/ 750E可以通過其口罩、步進機和UV激光照明器的組合，創造出高度精確和快速的集成電路。這使得它成為芯片制造商的強大和必不可少的工具，並確保高質量產品的生產。