二手 ASML PAS 5500 / 750E #293812100 待售

ASML PAS 5500/ 750E是專為滿足半導體生產需求和挑戰而設計的高性能晶圓步進器。它是一種大型浸入式投影步進器，經過優化，可用於極精確、高分辨率的光刻和晶圓叠加應用。該設備能夠生產高質量的感光模具，用於制造高性能、高產量和可靠的半導體器件。PAS 5500/ 750E由光學子系統、花崗巖基座、雙軸平移級和電機支撐組成。其投影光學系統由無窮大校正、消色差的高數值光圈、折射反射物鏡組成，最大場為1.2mm。光學子系統還配備了激光幹涉儀和遠心分束器。此外,步進器還配備了10倍攝像頭和1.5mm音高分辨率的數字步進臺。提供結構穩定性和減振功能的花崗巖基座，是該裝置嚴密的過程控制的組成部分。平移級包含反饋線性電動機，由數字運動控制機驅動，可重復性為0.5µm，正交精度為5µm。電機驅動由ASML電子模塊控制，包含一個實時變換電路，用於精確控制兩個運動軸。電機支架的最大電流處理能力為5.5A.步進器的控制工具基於Linux類型的操作資產，並配有晶圓識別模型（WRS）、可編程模式級別、場移、掩碼濫用保護和二次接觸。WRS識別晶圓大小和厚度,並相應調整陣列生成設置。總體而言,ASML PAS 5500/ 750E是高端光刻應用的理想解決方案,因為它具有先進的光學、精確的運動控制和其他功能,使其具有高度準確、可靠和高效的性能。