二手 ASML PAS 5500 / 750E #293829886 待售

ASML PAS 5500/ 750E是一種晶圓步進器，用於在半導體生產過程中給出高精度的光刻。它具有實現廣泛分辨率的能力，使得它在IC（集成電路）生產的不同階段成為可行的選擇。這種步進器的特點是能夠產生28nm的線寬和最小的0.1微米分辨率。PAS 5500/ 750E利用基於X和Y坐標的雙軸結構來產生切入半導體表面的步進模式。這種設備允許使用塗層和分層工藝，使得制圖和蝕刻工藝都可以在一臺機器中進行。ASML PAS 5500/ 750E的其他優點包括能夠將分辨率逐步提高到0.1微米,以及它還可以適應微級晶圓布局校正和調整。PAS 5500/ 750E包括一個248nm的I-Soource、一個激光光學對準系統、激光掃描儀組件和一個投影單元。I-Source是一種大功率激光器，適用於軟接觸和硬接觸光刻模式。借助激光掃描儀的照明和掃描鏡，可以實現高均勻度的晶圓拍攝。這些激光掃描儀和鏡子構成了光刻過程的組成部分。投影機直接向晶片發送成像圖樣，每次拍攝都必須進行單獨曝光。該工具允許中斷成像作業以添加額外的鏡頭,並允許隨著圖層位置的變化而更改鏡頭的數量。這同樣適用於單層和多層圖案，允許一個緊湊的光刻堆棧。ASML PAS 5500/ 750E還配備了高級幹涉儀，有助於保持激光掃描中鏡子的對準。這樣可以確保以最好的經濟效果完成盡可能最好的成像。此外，該資產還配備了一種高性能的電動機模型，電動機設備的響應可以達到0.2ms，允許高度精確和復雜的模式被寫入晶圓。該系統還具有雙模步進器，這意味著可以采用二維視覺縫合或一維掃描模式來快速準確地定位模式中的任何錯誤或修改。所有這些特性的結合使PAS 5500/ 750E成為高精度光刻的可靠且經濟的選擇。