二手 ASML PAS 5500 / 750F #293655012 待售

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ID: 293655012
DUV Stepper Chamber.
ASML PAS 5500/ 750F是用於創建半導體器件的高端照相步進器。該設備是一種光刻工具,為廣泛的晶圓成像應用提供高分辨率、快速吞吐量和準確性。PAS 5500/ 750F的7nm分辨率是半導體行業生產高質量、高精度布局的理想選擇。步進器配備了幾種先進的技術,例如提供精確而強大成像的ArF準分子激光源。這種高度精確的激光源可以將圖像投射到像素大小低至7 nm的晶片上。ASML PAS 5500/ 750F還配備了紫外線(UV)相機和多域對齊器,這兩者都為圖樣制作提供了極好的精度。系統被編程為使用各種層類型,如浸入介質、抵抗和掩蔽層。另外,這種步進器還能夠使用不同的光波長來繪制各種層的圖樣。其中包括ArF(193nm)、KrF(248nm)和I-line(365nm)。ASML的高技能工程師使用PAS 5500/750F'開發定制解決方案。該機器裝有一個多噴嘴加載單元和基於卡帶的晶圓處理機制,以實現快速晶圓傳輸和增加晶圓容量。機器還帶有直觀的用戶界面,簡化步進器的操作,有助於確保半導體步長和重復模式的一致性。ASML PAS 5500/ 750F還具有高公差線性設備,非常適合高精度對準和叠加測量。此外,強大的成像控制程序在後臺運行,允許晶圓表面和其他參數的連續控制。此功能有助於提高最終產品的整體質量,並確保始終滿足要求苛刻的最終用戶的期望。總體而言,PAS 5500/ 750F是一種功能強大、先進且高度可靠的晶圓步進器。它為用戶提供了更高的吞吐量、準確性以及精確的圖像和圖樣放置-其成像機的高分辨率,加上其先進的成像控制,使其能夠以最高的精度創建和完善半導體器件。
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