二手 ASML PAS 5500 / 750F #293813387 待售

ASML PAS 5500/ 750F是一種計算機數控（CNC）晶圓步進器，用於高級光刻應用。它設計用於在高端半導體晶片和基板上制作非常高質量的圖像和圖樣。該機器具有定位精度監控設備（PAMS）、16位分辨率以及高達每小時8個晶圓的吞吐量速度。PAS 5500/ 750F能夠在薄至150微米的基材上精確圖樣和定位光刻圖像。它利用多種數控技術的組合來幫助實現高精度、高通量的生產。數控系統包括位置控制算法、路徑補償算法和路徑校正算法。這些算法有助於確保圖像在基板上從邊緣到邊緣都有準確、一致的陣列,並自動校正線條放置或圖像幾何的任何變化。此外，該機設計為優化掃描路徑，以盡量減少基板處理時間，從而提高吞吐量。ASML PAS 5500/ 750F具有大型高靈敏度機器視覺單元,可提供機器中任何運動錯誤或故障的實時反饋。這有助於減少停機時間並確保正在制作的圖案和圖像的準確性。機器還包括一個直觀的用戶界面，允許用戶輕松編程和控制特性和功能，以及診斷和故障排除任何潛在的問題。PAS 5500/ 750F還具有與其他設備和系統易於集成的連接,因此非常適合在自動化制造環境中使用。該工具可以連接到工廠中的其他設備，如診斷和計量單元、機器人或其他CNC系統。這樣就可以實現完全自動化的資產,能夠連續生成高質量的圖像。ASML PAS 5500/ 750F是當今市場上最先進的數控晶片步進器之一。它結合了精度、速度和連接性,是高精度光刻應用的理想選擇。由於其用戶友好的界面和高速運行,PAS 5500/ 750F可以幫助加快生產時間、降低成本和最大化效率。