二手 ASML PAS 5500 / 80 #9188719 待售

ASML PAS 5500/80焦點裝配步進器是一種先進的半導體制造晶圓步進器,可提高制造商的特征尺寸分辨率和精度。它是一個高速、高精度的晶圓處理單元，與晶圓、掩模、基板等各種成像元件兼容。這種晶片步進器常見於集成電路的生產和開發中，利用高分辨率投影光刻技術，以高速和精確的方式在矽晶片上獲取圖像。步進器使用精密的空氣軸承設備和精密的計算機控制，使其能夠快速準確地將所需的圖樣掃描到晶片上。該設備由小型免維護電動機供電,冷卻風扇在過程中通過晶片提供冷卻空氣。該裝置配有微調光源和具有五軸級的高分辨率投影系統。利用先進的傳感器技術，精確測量晶片的位置，監測晶片在所有三個方向上的位置。步進器還可以與OPC模式一起使用，以實現更小的特征和更嚴格的控制精度特征大小。其他功能包括自動端塞和集成的電氣隔離單元,以及易於操作的脈沖液晶顯示器。ASML PAS 5500/80能夠處理直徑達二十四英寸的晶片，可以處理重達20公斤的物體。它擁有令人印象深刻的最高掃描速度,每秒高達7500步,最小尺寸分辨率為0.5微米,允許在處理後的表面上提供復雜而細微的細節。步進器的設計目的是盡量減少顆粒汙染，並提供完整的潔凈室兼容性。主動振動控制與高效的電氣體系結構相結合,也增強了設備的功能。它旨在最大程度地減少功耗,同時在延長的周期內提供一致、可靠的性能。PAS5500/80是一種功能極其強大的晶圓步進器,為制造商提供制造精度極高的高精度零件所必需的工具和能力。它重量輕、尺寸緊湊、設計高效，在工業環境下都是有利的。該機器的設計使高質量的生產與最小的機器停機時間，從而產生一個成本效益和可靠的半導體生產過程。