二手 ASML PAS 5500 / 80 #9194835 待售

ASML PAS 5500/80晶圓步進器是生產半導體產品的尖端工具。它非常適合中小型項目,能夠準確執行光學模具步進和光照過程,以滿足極其嚴格的生產要求。該設備采用高度集成和緊湊的雙場光學系統設計。這樣就可以對動態模具級別進行成像,而無需移動晶片,從而提高了生產效率並提高了結果。ASML PAS 5500/80晶片步進器配備了最先進的抗汙染管理單元，以確保高精度、穩定運行。該機提供了一個大範圍的步長和重復成像，以實現復雜的模式，最大場大小80×80毫米。它與多種濕法和幹法兼容，使其用途十分廣泛，可用於1X、1.5X、2X和4X曝光等光刻工藝。PAS5500/80晶圓步進器具有自動聚焦和自動對準功能,以及用於控制過程環境的高級環境感測機。它能夠在底物溫度較低的情況下實現精確曝光,其快速的吞吐量能力使其非常適合大批量生產過程。該工具還包括用於穩定抵抗和汙染管理的高度精確的偏轉測量資產。這有助於確保整個制造過程的準確性。晶片步進器在其設計中包含了額外的保護措施,例如針對冗余程序的保護、錯誤的程序選擇以及與過程相關的事故。ASML PAS5500/80晶片步進模型設計用於至少1級的潔凈室,具有極低的噪音水平和恒定的電源。它能夠實時優化生產過程,並且可以集成到工廠自動化設備中。其用戶友好的設計使其非常適合任何經驗級別的工程師。