二手 ASML PAS 5500 / 850 #9186902 待售

ASML PAS 5500/850是晶圓步進器的一種，用於半導體制造過程。它用於在晶圓的頂面上重復成像圖樣，通常用於生產集成電路。PAS 5500/850采用先進光學、高精度定位系統和精確晶圓操縱機制的組合，將模具成像到半導體晶圓上。該設備包括一個預對準器和一個對準器，以及一個掃描鏡和光圈透鏡，與基於激光的無掩碼源和探測器配合使用。預對準器用於晶片上模具的精確定位，使用激光和圖像識別。預對齊器還用於檢測模具缺陷。利用伺服驅動控制系統，對準器實現了更高的精度。掃描鏡和光圈透鏡用於協調光學裝置與無掩碼源和檢測圖樣。ASML PAS 5500/850還配備了多種設置和控制功能。它具有很高的精確度，可以使模具與晶圓上的圖樣精確對準。它還具有抗反射塗層的特點，以減少晶片表面的光反彈。此外,該單元還包括一個自動聚焦功能,可自動調整圖像聚焦,從而實現更高的圖像分辨率。對於光刻等過程，機器帶有一個附加模塊，該模塊連接到步進器。該模塊負責開發抗蝕劑，用於將圖樣從掩模轉移到晶片上。此外,PAS 5500/850能夠支持多種晶圓尺寸,該工具包括用於調整所需暴露劑量的算法,以保持不同尺寸晶圓的一致結果。總體而言,ASML PAS 5500/850晶圓步進器是半導體行業必不可少的硬件。它結合了多種系統和技術，為集成電路生產提供了可靠、準確的成像工藝。半導體制造商利用先進的光學設備、精確的定位、自動聚焦和可調節的曝光劑量,能夠制造高質量的電子元件。