二手 ASML PAS 5500 / 850C #293817849 待售

ASML PAS 5500/ 850C是一種高精度、高生產率的晶圓步進器。它的設計和建造是為了滿足當今半導體制造商日益增長的需求。它非常適合生產集成電路、內存芯片以及其他各種復雜的晶圓級IC。該850C采用專有光束光刻設備，包括投影光學單元和高級掃描階段。它使用低kV、高數值光圈（NA）鏡頭提供卓越的分辨率，使芯片布局即使在復雜的晶圓處理過程中也能保持其完整性。此外,高強度光源可確保最高的吞吐量和最佳的成像效果。該850C利用了大量缺陷過程檢測工具，包括航空圖像檢測、自動故障分析和模內故障檢測。在晶片檢查過程中，獲得專利的「QuadTech」系統對任何過程引起的缺陷以及與光刻過程相關的任何異常進行IC評估。此外,設備的集成邊緣檢測工具能夠快速檢測不良邊緣。在精度方面，850C采用1 nm步長分辨率和+/-75 nm線性精度的位移編碼器。集成的自動對焦機還有助於提供最佳的晶片平整度，從而最大限度地減少未對準或晶片表面扭曲輪廓的影響。為了提供堅固和長期的性能,850C采用了擴展的轉速選項,這有助於確保可靠和一致的結果,即使在處理高功率芯片或困難的布局幾何形狀時也是如此。此外,其直觀的用戶界面和過程監控功能可方便地進行故障排除和跟蹤產量。總體而言,PAS 5500/ 850C是一種可靠的高端晶圓步進器,可提供卓越的分辨率、無可挑剔的缺陷檢測和長期性能。這是一個完美的高科技產業設備，要求質量的結果與更短的周轉時間。