二手 ASML PAS 5500 / 90 #293817842 待售

ASML PAS 5500/90是一種先進的基於激光的晶圓步進系統。這種步進器作為光子束光刻工具，利用高功率的氙激光器在半導體晶片上創建納米級結構。它允許物體（在晶圓上）的高精度對準和移動，分辨率高達0.7微米。PAS 5500/90裝在高真空直立的外殼中，以便改進光子收集，並由能減少振動和保持微觀精度的堅固材料制成，以達到最佳晶圓性能。步進器包含兩個主要組件：散射束發生器（SBG）和晶圓保持系統（WHS）。SBG位於單元底部，將一束電子束投射到晶圓表面。位於單元頂部的WHS負責通過電動線性和圓形運動來保持和精確移動晶片，從而允許用激光束蝕刻錯綜復雜的圖案。ASML PAS 5500/90可用於構建微觀特征和電路,如邏輯電路、MEM和晶片上的晶體管。它能夠創建形狀各異的精細圖案，如圓、正方形和多邊形，最小線寬為0.7微米。醫療和聽力/語音技術應用中使用的麥克風陣列也可以用這臺機器創建。為確保精度,步進器采用了一種稱為圖像變換算法（ITA）的算法。該算法使步進器能夠在晶圓上以最小的曝光後計算精確預測和創建所需的模式。憑借其卓越的精度，PAS 5500/90可以作為3D打印等先進納米技術的可靠工具。ASML PAS 5500/90專為快速、易於設置和易於維護而設計,最大限度地減少了用戶的停機時間。它提供了帶有觸摸屏控制的直觀用戶界面，允許操作員根據需要快速調整設置和參數。PAS 5500/90通過其先進的功能和堅固的設計,在制造精細納米結構和設備方面提供了卓越的性能。