二手 ASML PAS 5500 #293830305 待售

ASML PAS 5500是一個步驟和掃描光刻晶片步進.它利用EUV光刻工藝產生的激光將晶片的圖像暴露在光掩模上。然後移動掩模以將不同的圖像曝光到晶片上。此過程允許為各種應用創建復雜且高度詳細的微電路。PAS 5500是一款多功能矩陣導航器/多色掃描儀/光學系統，由多臺計算機控制。它包含八個激光器，每個激光器產生30 W的功率，允許精確曝光圖樣段。光刻鏡可以以納米精度在兩個軸（x和y）上移動。晶圓保持在0.5 torr壓力下的AlGaAs半導體級上，允許在光刻過程中均勻蝕刻。ASML PAS 5500采用EUV-Lithography波長為13.2納米（nm），以便將圖樣精確蝕刻到晶圓上。EUV-Lithography是一個極精確的過程，寫場只有5-15 nm，導致最小特征尺寸只有20 nm。PAS 5500能夠一口氣產生多種模式，浪費最少。它還能夠對具有多種特征的區域進行超縮放光刻，對需要更精細蝕刻的設備進行高分辨率沈積。此外，它還可以進行多層蝕刻和納米壓印光刻。ASML PAS 5500具有模塊化設計,允許定制和易於維護。蒙版表設置為60度角,從而減少了交換蒙版的時間和復雜性。這樣可以在生產過程中快速更改,從而提高生產率。PAS 5500步進器針對微電子制造進行了優化，是一種在晶圓上產生復雜電路的可靠高效的方法。它占地面積小,功耗低,適合在廣泛的制造環境中使用。