二手 ASML Power box #293671352 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293671352
ASML Power box是半導體過程中使用的一種晶圓步進器。它是一種先進的工具，設計用於將半導體晶片精確定位和暴露於各種類型的輻射中。機器利用X、Y、Z電機移動舞臺，調整晶圓上的照明參數。這樣可以對小型設備進行高度精確的光刻,並具有高特征密度。功率箱的基本參數如下：成像面積-300毫米；圖像尺寸-200至500海米；光源-紫外線、紅外光源和可見光源；接觸劑量範圍-0.1至10 µJ/cm2；重復性-<1 µm。該機還具有先進的裝卸晶片自動化能力，便於維護。為了達到最高水平的圖像質量，ASML Power box利用了兩個主要組件；掃描鏡頭組件和晶片級系統。掃描鏡頭組件由伺服驅動的反射鏡組成,這些反射鏡將光束引向晶片。鏡子在所有3個軸上移動，以設置光刻工藝的焦點、空間分辨率和曝光參數。晶圓級系統由固定臺和可移動級組成，在X、Y、Z方向移動，將光束引向晶圓上的各個位置。各類輻射可搭配Power box使用，包括電子束、極紫外線、電離輻射、紅外線。該機還配備了幾個安全功能，如自動關閉和激光報警器。ASML Power box是一種非常先進的工具,可精確控制光刻工藝。Power box具有多種照明光源和高品質的圖像,非常適合制造高特征密度的小型設備。
還沒有評論