二手 ASML S1250D #9267433 待售

ASML S1250D
製造商
ASML
模型
S1250D
ID: 9267433
System.
ASML S1250D是一種在半導體工業中廣泛使用的高端晶圓步進器。該設備旨在快速、準確地將光刻膠暴露於紫外線輻射中,目的是生產高質量產量的高性能半導體器件。S1250D采用135毫米(5.3英寸)掃描儀,數值孔徑為0.72,k1分辨率為0.86-0.88,範圍為310-365納米。這使它具有卓越的成像能力和吞吐量。ASML S1250D采用了一種真正創新的模塊化設計方法,使用戶能夠根據自己的特定需求定制系統。模塊可以很容易地換出,以便增加或移除額外的光掩模檢查能力、光刻晶片對準和多個投影儀單元等功能,以提高曝光能力。此外,S1250D利用雙源場,允許用戶在不同的曝光能量和角度之間交替,以優化成像過程。該單元配備了多種硬件和軟件元件,它們協同工作,以便為操作員提供最高水平的性能和準確性。硬件包括激光對齊的掩模臺和超高分辨率投影鏡頭。軟件套件包括對齊機、校準模塊和用戶友好界面。這使用戶能夠輕松地操作參數和管理機器的進程,以及跟蹤結果。除了先進的成像功能外,ASML S1250D還具有多種其他高級功能,有助於設備的生產和質量控制過程。它包括廢料消除、零缺陷檢測、自動曝光調制等獨特功能。這使用戶能夠始終優化其設備的吞吐量和準確性,同時仍將目標對準零缺陷結果。S1250D是一種強大可靠的晶圓步進器,可用於生產具有最大收率的高性能半導體器件。它的模塊化設計方法和先進的技術可確保用戶從其設備中獲得最高級別的性能,其強大的用戶界面和軟件套件可確保易用性並跟蹤結果。此外,它先進的廢料消除、零缺陷檢測、自動曝光調制等特點保證了每次的優化效果。
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