二手 ASML Twinscan 1700i #293645775 待售

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ID: 293645775
Immersion scanner Wavelength: 45 nm.
ASML Twinscan 1700i是一種用於半導體生產的高端晶圓步進器。它是一種先進的生產系統,能夠以高精度和高速度將微芯片和其他組件對準矽片表面。步進器配備了強大的光學元件,並使用極紫外線(EUV)光刻技術進行最精確的蝕刻和成像工藝。Twinscan 1700i的設計目的是減少曝光時間,從而減少對正在加工的細膩電路和基板的熱損壞。它能夠在兩種環境中操作:空氣或真空。在空氣中操作時,它可以利用幹燥掃描能力,這有助於限制水分、灰塵和灰塵對晶片的影響。此功能還提供了卓越的成像精度和最快的吞吐量。這臺先進的機器由強大的計算機系統和高度可配置的自動化技術驅動。它具有四個用於階段掃描、AFM和KFK掃描的線性軸,以及一個可配置的旋轉軸。它能夠掃描到3-D分辨率為0.1 um(10納米),可重復性為0.05 um。它還具有高達25毫米/秒的最大對準級速度和1300毫米的最大聚焦範圍。Twinscan能夠處理直徑高達8英寸的晶片,每小時高達300晶片。它還具有多項確保正常運行的先進安全功能,如激光安全快門、可編程安全互鎖、警示燈等。所有這些功能的結合使ASML Twinscan 1700i有潛力顯著提高半導體器件生產的產量。
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