二手 ASML Twinscan 1700i #9408937 待售
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ID: 9408937
優質的: 2009
Immersion scanner
CIM: SECS
Process: Backend 40/45 nm
Argon fluoride laser: 193 nm
2009 vintage.
ASML Twinscan 1700i是半導體行業領先的晶圓步進器之一。它旨在提供高效、精確的光刻掃描,在矽片等基板上創建詳細的電路模式和結構。Twinscan 1700i由五軸級、光刻透鏡和投影設備組成。五軸級配備了直線電機,提供超精確快速的定位能力,允許更快的循環時間。鏡頭是高精度、高色散的聚焦系統,容量高達1.2倍放大倍數。投影單元由光源、光學元件和投影透鏡組成,將全芯片布局設計一起投射到基板上。ASML Twinscan 1700i還配備了先進的控制機器。此工具具有內置功能,使其適合廣泛的應用,包括單層和多層設計。這包括減少像素缺陷、提高對準精度和無縫邊緣清晰度的優化技術。Twinscan 1700i還具有高速計算模塊和先進的跟蹤和叠加校正能力,使資產在保持高圖像精度的同時減少周期時間。ASML Twinscan 1700i的設計目的是在劑量和聚焦方面提供最大的靈活性。該模型可以輕松配置以滿足特定於客戶的要求,而且它還與各種基板兼容。Twinscan 1700i的正常運行時間高、服務要求低、可靠性優異。它還為原型和生產線提供全面的光刻解決方案,可用於各種微電子應用。
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