二手 ASML Twinscan AT 1100 #9193540 待售

ASML Twinscan AT 1100是一種高精度晶圓步進器，由ASML製造，旨在支援製造複雜、高解析度的集成電路晶片。該AT1100是一種高度可配置和可擴展的步進器,能夠支撐直徑從50毫米到200毫米不等的基板。該AT1100采用小巧、用戶友好的設計,並配備了多種先進的光機械元件和功能,非常適合大批量制造操作。配備精確基板定位的5軸掃描臺、標線測量設備、高分辨率相機和先進照明系統。該AT1100具有高度自動化和符合人體工程學的特點。該單元兼容全系列晶圓處理程序和多個晶圓尺寸，以及一系列高壓和低壓處理模塊。它能夠提供卓越的光學性能,測量分辨率為5 nm。此外,AT1100還配備了先進的DUV掃描儀,波長範圍為248 nm和193 nm。它還配備了先進的F2光學機器，以及可重復性為0.36 μ m的高速、高精度4軸級。廣泛的軟件套件使用戶可以完全控制掃描過程,從而優化整個操作。AT1100晶片步進器用途廣泛,能夠提供高精度成像和卓越的吞吐量。它易於使用,非常適合高質量組件和快速循環時間至關重要的工業應用。該工具的高級功能和最佳性能使其成為目前市場上最可靠、最經濟高效的晶圓步進器之一。