二手 ASML Twinscan AT 1100 #9360842 待售

ASML Twinscan AT 1100是為半導體器件生產而設計的兩束晶圓掃描設備。它具有易於使用的圖形用戶界面和高端數字信號處理功能。該系統針對高速以及精確對準和聚焦進行了優化。Twinscan AT 1100支持以最高吞吐量和低擁有成本全天候快速處理時間。晶圓步進器還具有用於關鍵註冊、改進質量和數據管理的高級叠加功能。ASML Twinscan AT 1100利用先進技術進行高清成像、過程控制,並確保高精度操作。它包括高級自動對齊、參考對齊映射以及穩定對齊的即時補償特征。該單元還設有高分辨率晶圓定位和可追溯計量站。這些設計用於測量x、y、z運動、俯仰、滾動等。Twinscan AT 1100還具有智能成像功能,使用戶能夠利用最新的圖像處理技術。它包含了高達256位分辨率的幾種先進成像技術，如自動對焦、鏡頭失真校正和圖像裝箱。該機還利用掃描頭和高精度光學剖面儀。這樣可以確保高分辨率和可靠的信息用於特定於應用程序的晶圓平整度和缺陷識別。ASML Twinscan AT 1100是一個完全模塊化的工具，設計用於廣泛的晶圓處理應用。它支持多種掃描格式，從標線到大型晶圓。它還具有可擴展的設計,單個視野範圍從5 μ m到200 mm,使用戶能夠根據自己的特定應用需求選擇最合適的掃描技術。Twinscan AT 1100還提供擁有成本優勢，使得實施對中小型半導體生產設施具有吸引力。它具有較低的獨立維護結構,因此用戶可以滿足自己的服務和支持需求。此外，晶圓步進器包括一個集成的環境監測站和可選的計量服務，以確保一個穩定的過程。