二手 ASML Twinscan AT 1100B #293652583 待售
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ID: 293652583
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2003
ArF Scanner, 8"-12"
193 nm
STARLITH 1100 Lens 4x
(2) Reticle SMIF pods, 6"
Throughput: >60 WPH
Scan field: 26 x 32 nm
Conventional illuminator: 0.85 - 0.33
DOE Turret illuminator with quasar
CYMER NANOLITH 7000 Series ArF laser, 20 W
SUN SPARC Remote workstation
Chemical extraction system
FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 Tracking interface
SECS I
SECS II
Annular
2003 vintage.
ASML Twinscan AT 1100B是為下一代半導體制造而設計的高精度晶圓步進器。它對直徑可達180毫米的單個和大面積光掩模提供精確、可重復的處理,並采用先進的對準和驗證技術以確保產量和質量。這臺多光束機配備了先進的舞臺設備和允許最大圖像分辨率的最先進的照明系統。機器速度快、精度高、可重復性高，非常適合生產具有先進特性的晶片。Twinscan AT 1100B的特點是具有動態聚焦單元的單掃描體系結構,可確保精確聚焦和動態掃描速度,從而在整個芯片上保持一致的掃描速度。該機配備了一個強大、堅固的掩模傳輸工具，用於精確的掩模定位和圖像對準，以及一個集成的晶圓級，用於可靠的晶圓處理。此外，機器還配備了光學模式識別和驗證工具，提供性能和產品數據反饋。ASML Twinscan AT 1100B具有低放大成像資產,可用於在生產前檢查和驗證光掩模,而高分辨率掃描儀可確保精確的光刻性能。該機還配備了先進的光刻監控和計量系統，提供全程連續監控。該機器能夠每小時處理多達180個晶圓，並準備通過使用先進的薄膜厚度測量系統來處理多種光掩模。綜上所述,Twinscan AT 1100B是一種功能強大、準確、可靠且堅固的晶圓步進器,可提供光掩碼的精確光刻再現。ASML Twinscan AT 1100B具有先進的舞臺模型、創新的照明設備和集成的晶圓處理工具,是精密制造復雜IC的絕佳選擇。
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