二手 ASML Twinscan AT 1100B #293667141 待售

ASML Twinscan AT 1100B是一種先進的晶圓步進器，用於半導體工業中的光刻。它是一種高性能的光刻工具，提供卓越的分辨率、出色的均勻性和快速的循環時間，使得大體積的半導體制造成為可能。TwinScan的掃描設備由兩個頂級光刻光學元件（光學元件1和2）組成兩鏡掃描配置。這種設置在整個晶片上提供了卓越的成像和出色的均勻性,並且能夠容納各種晶片尺寸。TwinScan的先進光學器件還提供了卓越的分辨率水平，掃描到最大NA等於0.9的0.35 µm特征尺寸。Twinscan AT 1100B的其他功能包括其先進、用戶友好的控制軟件,該軟件可輕松操作和進行系統定制。這也使對齊時間最小化，並提供快速晶圓設置。該設備還提供了一個自我故障排除功能,可以快速識別和解決任何計算機錯誤。TwinScan的設計旨在提供卓越的計量，這對於光刻工藝至關重要。它配備了主動計量工具，利用單色幹涉屏蔽檢測3D地形誤差。它具有晶圓重叠多場縫合模式，可用於多場圖像的精確縫合。ASML Twinscan AT 1100B還具有高真空資產和精確的晶圓加載模型,可實現高性能和高吞吐量。此外，其先進的抵抗烹飪設備可防止在暴露過程中燃燒抗蝕劑，從而提高性能。總體而言,Twinscan AT 1100B是一種頂級晶圓步進器,可提供無與倫比的分辨率、均勻性和周期時間。其先進的特性和高精度的計量方法使其成為需要最高精度和高批量生產的生產環境的理想選擇。