二手 ASML Twinscan AT 1100B #293816605 待售
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ID: 293816605
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
ArF Scanner, 12"
X-Y Coil ATC assembly
RH Fame fiber
Optic sensor
WS Type 1
(2) Airbearing center LSY Slides, X WS AT
RETICLE BA‑XY‑13X19
RETICLE BE‑FOCAL‑200N
LSY Slide X WS AT
(2) Water circuit wafer filters, 30 µm
ACC Controller
Memory card
Filter
Water circuit filter
Water circuit filling filter
Laser
Optic
Light‑source replacement
Wavelength : 193 nm
Resolution : ≤180 nm
Single machine overlay: ≤40 nm
Throughput (WPH): ≥80
Inline with track
2002 vintage.
ASML Twinscan AT 1100B是一種先進的晶圓步進器-一種用於制造集成電路的半導體生產行業的機器-由荷蘭的ASML公司生產。它是一種基於浸入式步進器，使用色散校正、高數值光圈透鏡和先進的光刻設備來繪制晶片的圖樣，精確度非常高，達到40 nm節點。Twinscan AT 1100B有幾個組件，使其成為IC制造的理想機器。集成的色散校正光學器件可減少整個磁場的波前像差,並允許在高達1.35的數值孔徑下使用。用於繪制晶片表面圖樣的光掩模加載到晶片級,然後將晶片級在x軸和y軸中以0.05至0.10 μ m的分辨率在晶片上平移。該機還配備了支持單曝光、雙曝光、多曝光應用的雙音標線功能。ASML Twinscan AT 1100B具有卓越的成像和叠加功能,以及控制光刻系統的專有軟件平臺。該單元使用雙級室內聚焦機，補償因工藝不均勻而造成的散焦，包括空氣軸承和電動級設計。此外,該機器能夠進行現場過程監控,從而能夠更快地反饋和更正暴露過程。Twinscan AT 1100B還提供卓越的吞吐量和擁有成本。該機每小時可掃描500平方米，維護方便，操作成本效益高。它具有內置的刀具完整性檢查，以及可靠的伺服控制，這使得它成為一個高效高效的晶圓步進器。此外,ASML Twinscan AT 1100B在測試過程和材料方面提供了最大的靈活性,這意味著它可以處理從短曝光到多曝光配方的各種暴露過程。簡而言之,Twinscan AT 1100B是一種先進且用途廣泛的晶圓步進器,非常適合制造到40 nm節點的極其精確的集成電路。ASML Twinscan AT 1100B具有強大的成像和覆蓋能力、現場過程監控功能以及卓越的效率和吞吐量,是半導體生產行業的理想機器。
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