二手 ASML Twinscan AT 1100B #293817674 待售

ASML Twinscan AT 1100B是一種頂級晶圓步進器，由半導體制造設備制造商ASML制造。這種設備能夠在矽或其他半導體晶片的頂面產生極其精確的圖樣。該系統由一個將晶片固定在適當位置的階段和三個主要的移動部件組成，即照明單元、物鏡和投影板。照明機被用來產生完全均勻的圖樣暴露在晶圓表面上。這是使用三個鹵素燈完成的，這三個鹵素燈對於不同類型的曝光具有可調節的高度，並且在晶圓上提供均勻的光強度。空心陰極燈用於提供穩定、超短的曝光時間,用於高精度曝光,且熱效應最小。物鏡被用來放大投影板投射到晶圓表面的影像，使所產生的圖樣在最高解析度上是精確的。透鏡具有可變的數值光圈，能夠從1X-4X進行縮放，從而允許在晶片上以最高精度制作不同類型的圖樣。投影板位於透鏡旁邊，用於將所需的圖樣投影到晶圓表面上。此板包含一個鏡面陣列,並且陣列由四個激光器生成,並且啟用了180度運動,以便可以從多種角度創建陣列。與其他晶片步進器不同,Twinscan AT 1100B具有層曝光工具,可確保每一層的最佳曝光,而無需移動或傾斜基板。這樣可以提高準確性,提高生產速度和成本效率。資產的大小為臺式機,但可以輕松地在輪子上從一個位置移動到另一個位置。它能夠在0.5 um以上的分辨率下產生非常精確的模式,非常適合先進的集成電路。ASML Twinscan AT 1100B是尋找頂級晶圓步進系統的半導體器件制造商的絕佳選擇。