二手 ASML Twinscan AT 1100B #293817722 待售
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ID: 293817722
晶圓大小: 8" - 12"
優質的: 2003
Argon Fluoride (ArF) Scanner, 8" - 12"
No lens data
2003 vintage.
ASML Twinscan AT 1100B是一種設計用於半導體制造的高精度晶圓步進器。晶片步進器利用高度精確的級設備，使整個晶片能夠精確對準和曝光。The Twinscan sites on a central located gamtry, which houses two independent votable lenses.鏡頭提供了強大的近距離對焦系統，確保晶片始終處於相同的精確位置，即使在鏡頭偏移發生後也是如此。AT 1100B的鏡頭運動小於2.5納米，總聚焦範圍高達1.73微米。這種精度水平確保即使使用了最高分辨率的感光材料，曝光也會在整個晶片上保持一致。AT 1100B采用先進的光學增益控制,以便即使使用分辨率最高的感光材料也能保持穩定的曝光,並確保即使在拍攝過程中晶片傾斜時也能保持一致的曝光。晶圓由X射線源照明，光束寬度為100微米，直徑為0.2微米。這就產生了一個暴露場，它在短短六秒鐘內覆蓋了一個完整的晶片。步進器還具有集成的高級控制單元，允許用戶監視和調整曝光場，以及控制焦點參數。這允許用戶在整個晶片上實現最高的精度和均勻性。此外,AT 1100B還配備了晶片對準機,該機使用傳感器確定晶片的位置並相應調整曝光場。最後，步進器配備了許多安全特性，例如碰撞檢測工具，以確保晶片在暴露過程中不會損壞。此外，AT 1100B被評為連續工作，使其非常適合高端、高度精確的生產線。
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