二手 ASML Twinscan AT 1150 #9360853 待售

ASML Twinscan AT 1150是半導體工業中使用的先進晶圓步進器。它有一個由兩個部分組成的分區掃描設備-一個用於在x-y平面中進行角度掃描的主掃描系統和一個用於沿z軸進行線性掃描的輔助掃描單元。Twinscan AT 1150利用衍射微光元件提高輸出圖像質量。它配有屏蔽機，防止成像時光學器件損壞。ASML Twinscan AT 1150的視野很大，最大字段大小為19 x 19 mils，最大字段偏差為0.05 mils。其最小特征尺寸為2.5 nm,最小特征公差為0.25nm。由於其先進的微光元件，步進器具有極高的0.8的數值孔徑，是最寬的可用孔徑。此外，它的光學設計允許同時進行高NA和低失真成像。Twinscan AT 1150的設計具有令人印象深刻的數據吞吐量,每小時高達500晶圓。它也可以在各種環境下操作，從標準到真空。它配備了一個鉸接級，允許高達10米/秒的高速平移，並設有一個集成的數字測量工具，以提高精度和精確度。步進器配備了幾種先進的照明系統，在功率、波長和強度方面有廣泛的選擇。其先進的內部軟件支持先進的室內圖像算法處理和基於圖像的決策。它還與全球對準資產相結合，以確保在一系列晶圓樣品上測量的準確性。ASML Twinscan AT 1150是一款高度先進的機型，旨在滿足不斷發展的半導體行業的需求。它具有廣闊的視野、高數值孔徑和快速的數據吞吐率，是圖像減少和對齊過程的理想工具。其先進的照明系統和圖像處理能力使其能夠有效地適應制造過程的嚴格要求。