二手 ASML Twinscan AT 1150i #9112174 待售

ASML Twinscan AT 1150i是一款一流的光刻晶片步進器，設計用於執行集成電路（IC）、微機電系統（MEMS）和先進光學的高精度光刻。這種自動掃描儀設備為客戶提供了卓越的吞吐量、卓越的模式保真度和擴展的過程緯度,以幫助他們生產出最先進的技術。Twinscan AT 1150i是最新一代的工具,具有全新的掃描儀設計、原位校準以及先進的計量和過程控制功能。它集成了ASML浸入式光刻系統和獨特的掃描儀單元設計，具有高速線性掃描、兩幀、單偏轉器和場透鏡，確保了極大的均勻性和效率。借助ASML Twinscan AT 1150i的強大功能和靈活性,用戶可以對功能尺寸降至20 nm的平版印刷芯片進行平版印刷,同時實現卓越的邊距和叠加性能。Twinscan AT 1150i使用戶能夠以卓越的控制和精確度對要求很高的鏡面和非鏡面層進行平版印刷。該機還采用了高精度的X-Y級和掃描儀運動系統，可實現高吞吐量和快速吞吐量。它還使用象限檢測器來確保無與倫比的圖像均勻性。除了卓越的光刻功能外,ASML Twinscan AT 1150i還具有多種高級計量和過程控制選項。這包括先進的標線計量工具、多象限自動縮放資產、深度聚焦計算以及主動反饋,以實現更高級別的光刻優化。另外，Twinscan AT 1150i具有業界領先的檢驗模型，用於驗證晶片在曝光前的完整性。功率和穩定性是ASML Twinscan AT 1150i最重要的兩個特點。這臺機器由先進的晶圓處理系統提供動力，包括多個級和機器人，以及一個密封掃描儀，以確保無論環境溫度如何的最佳工作條件。它還具有板載晶圓路由、開銷冷處理交換和即時配置更改功能,從而允許連續生產過程。Twinscan AT 1150i是精細間距技術和高端3D設計的理想工具。它結合了卓越的光刻性能和先進的計量和過程控制能力，以確保最高質量的設備設計。憑借其先進的光源和掃描技術,ASML Twinscan AT 1150i使用戶能夠創建當今最強大的設備。