二手 ASML Twinscan AT 1150i #9112177 待售

ASML Twinscan AT 1150i是一種用於半導體制造業的極紫外線（EUV）晶圓步進設備。適用於先進的光刻應用，系統提供高吞吐量、重復性和準確性。它的分辨率為32nm,光束尺寸可達40 µm。Twinscan AT 1150i具有三個、獨立同步、獨立移動軸的立方體形狀設計。X軸和Y軸允許步進器在場內運動和重新定位,Z軸提供焦點支持。步進器配備了激光泵浦對準（LPA）單元和一個內置的非接觸式激光器，用於位置設置。步進器具有多段逐個快門掃描儀,其現場尺寸可達14毫米x 14毫米。掃描儀在連續快門的基礎上運行，意味著它可以不停頓地暴露整個領域。這樣可以在一次掃描中準確曝光和檢索數據。ASML Twinscan AT 1150i掃描儀工具與ASML最先進的Photolitho-Rotation® （PLR®控制技術集成在一起。這項技術允許以微米級精度進行定位控制，並且可以將定位誤差減少多達50%。步進器的光學器件被設計成創造出波長為13.5 nm的EUV光束。該光束由一組無失真的非球面冷凝器透鏡進行光學校正和定向。這些透鏡產生均勻分布的短圓EUV光束，確保目標的精確照明。為了獲得更高的精度，步進器具有高節奏的數字延遲發生器（DG）。DG可以產生200 fsec至4e-6sec的脈沖長度，精度低至1皮秒。Twinscan AT 1150i配備了自動化的自我校準進給模擬資產,有助於最大限度地提高有效吞吐量和準確性。此模型可以在單個設置中生成多個曝光,並在盡可能短的時間內對其進行對齊。進給模擬算法也可以根據用戶的個別需求進行定制。ASML Twinscan AT 1150i適用於各種定制應用程序。它支持多種曝光技術,允許各種光束配置。此外,步進器還配備了專用的標線處理設備,使用戶能夠快速準確地更改標線。Twinscan AT 1150i是任何先進光刻的理想解決方案。該系統具有多功能性、先進特性和卓越的精度,可為消費者和工業領域的客戶提供全面的平版印刷解決方案。