二手 ASML Twinscan AT 1150i #9112188 待售

ASML Twinscan AT 1150i晶圓步進器是一種在半導體工業中廣泛使用的最先進的光刻機。該機器能夠產生小光斑尺寸小於10納米的高分辨率光學圖樣。1150i是一種投影式掃描機，利用激光束在晶圓上產生圖案。激光束首先從一個旋轉的球面鏡反射出來，將光束聚焦在一系列的小運動階段上。這些級以預定的模式將激光束穿過晶片移動。晶片安裝在一個5軸級，允許它在任何方向移動。該級還能夠在掃描激光穿過表面時旋轉晶片。這種技術允許1150i用於多個曝光作業，甚至可以在單個晶圓上創建幾種不同的模式。1150 i利用了一種稱為step and repeat的技術，在該技術中多次掃描晶圓的同一部分。這樣可以在一次掃描中建立多層晶片。此外，該機還有一個多閘門系統，可以使激光束的焦點得到即時調節。1150i還具有可編程控制系統，允許用戶定義機器將圍繞其運行的特定速度和加速度參數。此功能使用戶可以針對各種作業優化系統,例如高吞吐量或低模式復雜度,從而提高生產率。除了卓越的掃描能力外，1150i還能夠快速處理數據，確保快速準確的模式定義。機器可以在10毫秒內快速處理作業信息,並且還具有實時對齊功能。1150i是一款高效可靠的機器，提供卓越的模式保真度和均勻性。其強大的設計和集成的特性使其成為滿足半導體制造和研發需求的絕佳選擇。