二手 ASML Twinscan AT 1200B #293663069 待售

ASML Twinscan AT 1200B是一種用於光刻的高精度晶圓步進器。它旨在提供高分辨率的模式轉移到基板上，如半導體晶片，同時保持產品的尺寸精度。Twinscan AT 1200B利用高精度步進電機進行運動控制，從而實現微米的位置精度。該設備具有高分辨率光學元件，包括變焦放大鏡、遠心光學、投影鏡頭、紅外對準系統和可變數值光圈。所有這些元素的組合提供了一個高精度的成像單元。ASML Twinscan AT 1200B能夠處理直徑不超過12英寸的基板。它的特點是步進臂具有可變的速度，使基板的旋轉和對準暴露的表面。步進臂連接到水平滑過基板臺的托架，從而實現精確快速的定位。Twinscan AT 1200B還提供了自動對準機，它使用光學傳感器跟蹤基板在桌子上的位置。此工具允許更快、更準確地調整組件。步進器還具有可選的平整資產,可測量基板在不同位置的表面並調整其高度以確保精度。除了精密元件和對齊模型外，ASML Twinscan AT 1200B還具有光罩和工藝控制單元。光罩用於控制曝光水平和聚焦設備，而過程控制單元則允許用戶調整食譜參數，如照明水平和曝光時間。Twinscan AT 1200B提供了廣泛的光刻功能。其高精度成像設備和控制組件可提供準確可靠的模式傳輸,同時其自動對齊和可選的調平器可確保可靠的性能。結合其與眾多基板的兼容性，ASML Twinscan AT 1200B對於需要精確可靠的晶圓步進器的用戶來說是一個極好的選擇。