二手 ASML Twinscan NXT 1965Ci #293817826 待售

ASML Twinscan NXT 1965Ci
ID: 293817826
Immersion lithography system Numerical Aperture (NA): 0.85-1.35 Resolution: 38 nm DCO: 2.5 MMO: 4.5 Throughput (WPH): 250.
ASML Twinscan NXT 1965Ci是一種尖端晶圓步進器,由世界領先的半導體設備供應商ASML設計制造。這款先進的光刻工具配備了最先進的技術,以滿足半導體行業生產高分辨率、高性能集成電路的苛刻要求。Twinscan NXT 1965Ci采用193納米準分子激光源,為矽片實現高分辨率和精確圖樣提供了必要的波長。這種激光源對於步進器提供10納米以下分辨率的能力至關重要,使得生產功能較小、密度較高的先進半導體器件成為可能。NXT 1965Ci的關鍵亮點之一是其先進的鏡頭系統,其中包括投影和折射光學的精密組合。該透鏡系統在聚焦激光以在晶圓表面上產生精確的圖樣方面起著關鍵作用。使用先進的鏡頭技術可確保最小的像差和失真,從而實現卓越的成像性能和模式保真度。NXT 1965Ci的晶片級專為高通量操作而設計,能夠處理直徑達450毫米的大型矽片。這使得步進器能夠適應廣泛半導體器件的生產,包括先進的CPU、內存芯片和其他復雜的集成電路。晶片級配備了先進的機器人技術和對準系統,用於光刻過程中晶片的精確定位和對準。在生產力方面,NXT 1965Ci憑借其先進的自動化和晶圓處理功能,提供業界領先的吞吐量和正常運行時間。步進器專為高容量制造環境而設計,其中效率和可靠性至關重要。ASML專有軟件算法和智能傳感器技術使系統能夠優化曝光時間,減少周期時間,並最大限度地降低光刻過程中出現缺陷的風險。此外,NXT 1965Ci還配備了先進的標線處理和計量系統,確保標線的精確放置和對齊,以便在晶圓上設計復雜的圖案。步進器的標線級設計用於快速、精確的標線交換,允許快速設置和對齊過程,以最大程度地減少停機時間並提高整體工作效率。總體而言,ASML Twinscan NXT 1965Ci代表了晶圓步進技術的巔峰之作,結合了尖端光學、先進自動化和高性能能力,以滿足半導體行業苛刻的要求。NXT 1965Ci具有無與倫比的分辨率、吞吐量和可靠性,是推動半導體技術不斷進步和開發下一代電子設備的關鍵工具。
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