二手 ASML Twinscan NXT 1970Ci #293817825 待售

ASML Twinscan NXT 1970Ci是一種基於光刻的晶圓步進器。它使用DUV（深紫外線）源以逐層方式將圖樣暴露在光刻膠覆蓋的晶片上。與傳統的光刻系統相比，Twinscan NXT 1970Ci具有幾個獨特的優勢，例如它的高真空設備不需要大氣層交換裝置，它的大數值孔徑支持高分辨率成像。ASML Twinscan NXT 1970Ci並行使用多個掃描儀,從而實現更快、更高效的吞吐量。每個掃描單元都連接到一個基於激光的照明系統，該系統使用波長乘法原理來達到最佳分辨率，並匹配每個光刻層的分辨率要求。自動飛行校準裝置對焦點和其他參數進行連續監控，以確保更高的準確性和可重復性。Twinscan NXT 1970Ci支持多種標準的光刻膠膜類型和工藝化學，在優化每種晶片層的光刻參數方面提供了更大的靈活性。此外,該機器還提供了用於全局和局部對齊的高級對齊控制,從而能夠在大型圖案和模具結構上進行單曝光縫合,而不會產生陰影工件。ASML Twinscan NXT 1970Ci配備了先進的控制器系統和先進的3D監視器工具集,可全面控制所有光刻和計量過程。這些工具包括可追蹤性選項、流程優化的逐層監控、全自動作業設置以及質量控制功能,如CD/光學控制。Twinscan NXT 1970Ci還提供全面的計量和檢測功能，包括全3 D非接觸式檢測、實時成像、薄膜厚度監控和叠加控制。此外，該工具與各種各樣的晶圓處理和包裝系統兼容，允許無縫集成到現有的工廠生產線中。ASML Twinscan NXT 1970Ci是尋求高性能光刻解決方案的高通量晶圓廠設施的完美解決方案。它允許在各種光刻膠和其他膠片類型上進行經濟高效、準確且可重復的圖樣繪制,使其成為任何先進制造過程中可靠且通用的合作夥伴。