二手 ASML Twinscan NXT 2000i #293817821 待售
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ID: 293817821
ArF Scanner
Numerical Aperture (NA): 1.35
Resolution: 38 nm
MMO: 2.5
Throughput (WPH): 275.
ASML Twinscan NXT 2000i是一種高度先進的晶圓步進設備,用於半導體工業生產矽晶圓上的集成電路(IC)。這種尖端的光刻系統由ASML制造,ASML是全球半導體行業的領先光刻設備供應商。Twinscan NXT 2000i代表了最新一代的ASML浸入式光刻系統,旨在滿足半導體制造中對更高分辨率和更嚴格工藝控制的日益增長的需求。ASML Twinscan NXT 2000i是圍繞一個最先進的照明單元構建的,該單元使用波長為193納米(nm)的深紫外(DUV)光在矽片上曝光光刻膠。此波長對於實現生產功能尺寸低於10納米的高級IC設計所需的高分辨率至關重要。這臺機器還配備了一個精密的透鏡工具,其數值光圈(NA)為1.35,它允許將錯綜復雜的電路圖樣投影到晶圓上,具有非凡的精度和清晰度。Twinscan NXT 2000i的關鍵創新之一是其浸入式光刻技術,它涉及用一種特殊的流體,通常是去離子水填充透鏡和晶圓之間的空間。這種浸入技術通過減少衍射效應和改善投影圖像的對比度,提高了光刻資產的分辨率和焦點深度。浸入過程還有助於最小化光路中的失真和像差,從而使晶圓上的圖樣保真度和邊緣放置精度更高。除了其先進的光學元件外,ASML Twinscan NXT 2000i還配備了高速晶片級,能夠在曝光過程中精確定位和對準矽片。該模型采用自動標線處理設備,可以快速加載和卸載包含要傳輸到晶片的電路模式的標線。這種高通量能力使Twinscan NXT 2000i能夠實現業界領先的生產效率和生產效率,使其非常適合於尖端半導體器件的批量制造。ASML Twinscan NXT 2000i設計為與廣泛的光刻材料和工藝參數兼容,使半導體制造商能夠針對其特定的器件要求優化光刻工藝。該系統還配備了先進的控制軟件和監控工具,能夠實時調整曝光參數、對準校正和整體單位性能。這種高度的靈活性和控制確保Twinscan NXT 2000i能夠滿足前沿半導體產品批量生產所需的嚴格質量標準和產量目標。總體而言,ASML Twinscan NXT 2000i代表了浸入式光刻領域的一項重大技術進步,為半導體制造商提供了一個強大而可靠的解決方案,用於以納米級精度對復雜的IC設計進行陣列設計。Twinscan NXT 2000i憑借其尖端的光學、沈浸式技術、高速級、先進的控制能力,位置優越,能夠帶動創新,使下一代需要高性能、能效、小型化的半導體器件成為可能。
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