二手 ASML Twinscan XT 1200 #9079261 待售

ASML Twinscan XT 1200是一種PAS 5500/6500晶圓步進器，用於半導體基板的光刻。它是當今用於制造集成電路的最精確的光學機器之一。它能夠對20 nm大小的特征進行陣列設計,精確的步長精度為+/-0.5nm。Twinscan XT 1200配備了Synchroscan®掃描系統,該系統配備了可對晶片進行X-Y掃描的級,具有高度的線性和速度穩定性。舞臺可達到240mm/秒的最高速度，最大加速度為40G。此外,該級還集成了螺距和滾動自動校正傳感器,以在整個掃描區域內保持陣列的對齊。ASML Twinscan XT 1200能夠曝光高達300 mm直徑的晶圓基板,分辨率設置低至0.45 μ m/像素。這種超高分辨率的能力允許產生更精確的模式。該機器還配備了裁剪對齊系統（CAS）,該系統允許對齊小晶片段,以便在晶片內精確放置特征。Twinscan XT 1200還使用陣列波導光柵（AWG）和長工作距離目標（LWD）來允許半定制層和設計的曝光。這些波導光柵不太容易失真，提供更寬的視場（FOV），從而允許提高吞吐量。LWD目標提供了極佳的景深（DOF）,可產生更清晰的圖像。ASML Twinscan XT 1200是當今半導體行業一個高度可靠和高效的生產系統。它以精確度和速度著稱，能夠產生比其他大小的機器更大特征密度的高品質圖案。它還能夠解決一系列應用，從數字IC和控制IC到模擬IC和電源IC，使其成為現代芯片制造的通用工具。