二手 ASML Twinscan XT 1200B #9096080 待售
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ID: 9096080
Stepper
Slit uniformity: 0.31%
Intensity: 1024.54
Symmetrical error: 0.13%
Max stray light: 0.42%
Slit average: 0.36%
With Unicorn at center: 0.406
SAMOS: 0.89%
Best focus: -0.017
Focus range: 102
AST: 39
Chuck ID 1
Max DX Stdev. DY
1 4.5 2.2 1.8
2 3.5 2.4 0.3
3 3.1 2.1 2.4
4 2.9 3 2
5 2.9 2.1 1
Max DY Stdev. DX
1 3.5 1.6 1.3
2 3.2 1.5 1.6
3 2.9 2 0.8
4 2.8 1.8 2.3
5 2.8 1.6 2.2
Chuck ID 2
Max DX Stdev. DY
1 4.7 4.2 2.8
2 3.7 3.4 2.1
3 3.4 4.3 0.2
4 3.2 3.9 3.2
5 2.7 4.2 0.7
Max DY Stdev. DX
1 3.6 2.9 0.7
2 3.5 1.9 0.9
3 3.4 2.3 0.2
4 3.2 2.9 3.2
5 2.8 2.3 2.3
342/440 VAC, 48/52 Hz, 30 kVA.
ASML Twinscan XT 1200B是制造集成電路的先進晶圓步進器。在芯片制造過程中,它被用於在半導體晶片上精確地繪制光掩模.XT 1200B以ASML雙光束掃描技術為基礎，具有最先進的光學子系統和高性能掃描場的有效性。XT 1200B在每個投影單元中都裝有兩個衍射光學元件（DOEs），包括一個集成的抵抗成像系統。指定經營實體采用兩條單獨的光路精確校正像差，以產生聚焦的亞微米線型。集成的抗蝕劑成像系統提供了薄層或厚層圖樣光刻膠的低拷貝掩蔽。XT 1200B的對準精度為12nm（1 σ）和2nm漂移，提高了成品的蝕刻和產量。它實現了標線/晶圓平整度、光束均勻性、定位和指向精度，甚至基板在圖樣制作過程中的電氣行為等關鍵機床參數的測量和監控。XT 1200B擁有12英寸的標線掃描字段、1,525萬像素/秒的全場掃描速率和1.24億像素/秒的總晶圓掃描速率。其最大數值孔徑0.25提供了小於0.25微米的分辨率極限。XT 1200B還具有高達600 mJ/cm^ 2的大劑量,在較厚的抗蝕劑情況下,能夠更快地曝光。此外,此模型還提供了一整套數據分析和報告工具,使用戶能夠在抵抗成像、叠加和鏡頭損壞方面優化機器性能。XT 1200B還帶有自動階段校準和像差校正功能,以實現持續的穩定性和性能。總而言之，Twinscan XT 1200B是最先進的晶圓步進器，非常適合大批量生產先進的半導體器件。它結合了極好的對準精度、高吞吐量以及像差校正和集成抗蝕劑成像等先進功能，確保每一批半導體出廠完美。
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