二手 ASML Twinscan XT 1250 #9268786 待售

ASML Twinscan XT 1250是一種準分子波長掃描儀，提供UV影像，協助集成電路的光刻。它主要用於晶圓制造工藝，用於制造大體積的光刻母版。ASML TWINSCAN XT:1250的分辨率為兩微米，每小時掃描多達1250個晶圓。這使得它成為高端生產晶圓的合適而高效的工具。Twinscan XT 1250的激光對準設備旨在提供精確、高性能的掃描。該掃描儀定位精度為5微米，可用性為98%。它具有6倍的圖樣預對準系統和5微米特征預對準單元，意味著即使是最小的特征也可以精確定位。新的三滑五軸設計確保了更高的準確性和靈活性。TWINSCAN XT:1250使用激光照明器產生一個短的紫外線脈沖，用於暴露犧牲層。此光脈沖接著被定向到晶片，晶片在圖樣對齊時被暴露。這樣可以確保保持對準的精度並產生精確的結果。前端計量站是ASML Twinscan XT 1250的另一個重要特點。計量站用於測量曝光前晶圓上的特征。它確保晶片正確對齊,並且所有特征都位於正確的位置。ASML TWINSCAN XT:1250還有一個自動群集工具,它將晶圓步進器鏈接到群集工具加載程序。該工具可以快速準確地加載和卸載晶圓圖樣。Twinscan XT 1250還擁有兩個獨立的機座艙，實時顯示工具設置、溫度、高真空資產等型號條件。這對於管理設備組件和確保系統始終高效運行非常重要。總體而言，TWINSCAN XT:1250是一種強大而精確的晶圓步進器，能夠在短時間內生產出高級光刻大師。它具有五微米的精度，高可用率，和激光對準單元，保證精確度在微觀水平。此外，它還配備了一個自動化的集群工具和兩個獨立的機器駕駛艙，以保證正確的工具操作。