二手 ASML Twinscan XT 1250D #293602263 待售

ASML Twinscan XT 1250D是一種先進、高度精確且用途廣泛的晶圓步進器,旨在滿足300 mm晶圓應用的生產要求。它能夠處理各種光刻層，從光致抗蝕劑到金屬等。它具有高速1250 mm掃描級，具有精確的直線電機驅動和用於精確定位的高分辨率編碼器。最大級速度為450毫米/秒，在10nm水平具有重復性。ASML TWINSCAN XT:1250D具有超大型、高分辨率的11 µm狹縫投影儀,其光學分辨率超過1 nm。高分辨率通過使用DCM （Dot Calibration Method）和雙叠加引擎實現，這兩者都糾正了任何缺陷以確保精確成像。此外，該設備還配備了強大的照明控制（IC）包，能夠管理多達四個光源和一系列具有挑戰性的照明環境。TWINSCAN XT 1250 D有一個大的、靈活的、不重叠的晶圓場，可以定制以適應大的模具尺寸。該系統能夠一次處理多達15個晶圓，可以與一系列基材配合使用；從矽、的、多晶矽到外延層。另外，該單元可以處理一系列晶圓尺寸；從5英寸到14英寸的晶圓。Twinscan XT 1250D由一臺先進的控制機器提供動力，它提供了多個顯微鏡、光學機械元件、電機和傳感器的高級功能和完全可擴展性。它配備了先進的軟件工具和協議，旨在促進快速和精確的光刻。它內置的診斷、主動過程控制（PPC）和無振動進紙器使機器易於操作和維護。ASML TWINSCAN XT 1250 D工具由一整套服務支持,以確保資產的正常性能和壽命。這些包括現場啟動和調試、模型維護和支持、更換部件和培訓。此外,ASML還提供性能保證,確保設備滿足其性能要求。