二手 ASML Twinscan XT 1250D #293666937 待售

ASML Twinscan XT 1250D
ID: 293666937
ArF Scanner 193 nm.
ASML Twinscan XT 1250D是一種晶圓步進器,旨在為微電子工業中使用的基板產生高度精確的數字圖像。它能夠快速通過和掃描幾個基板一次,產生極好的精度。ASML TWINSCAN XT:1250D的掃描字段為1250mm,可達到高達17µm/pixel的分辨率。晶片步進器的主要部件是其光學系統、控制器和級。高分辨率光學系統由一個1250mm的掃描場、一個2/3rds的數值光圈和一個物鏡組成,使其能夠以高達17µm/像素的分辨率掃描圖像。其控制器包括一個觸摸屏用戶界面、一個CCD檢測器陣列,以及一臺高速的視控PC。舞臺是一個完全可編程的X-Y定位器,能夠容納直徑達125mm的基板。TWINSCAN XT 1250 D采用了許多功能來提高精度和成像。其中包括波前質量控制系統、適應不同基板尺寸和厚度的校準特征,以及最優設置成像參數的自動設置算法。選擇和監視照明源以及自動對齊例程的能力有助於同時對齊和定位幾個基板。晶圓步進器與Twinscan生產和數據管理軟件配合運行。該軟件允許控制對比度和亮度等特定參數;它還可以方便地輸入與批量大小、基材類型和運行時間有關的指令。該軟件易於擴展,支持多種掃描和成像格式。TWINSCAN XT:1250D是任何微電子實驗室必不可少的設備.它非常用戶友好和堅固,並提供出色的準確性和圖像分辨率,非常適合業界的需求。
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