二手 ASML Twinscan XT 1250D #293820026 待售

ASML Twinscan XT 1250D是為制造半導體晶圓而設計的晶圓步進器。它是一種超高分辨率光刻設備，在X-Y平面提供890 nm的圖像尺寸。該系統使用典型的光電光源，如激光，在半導體晶圓上書寫圖樣，可以產生低至60 nm的特征。它能夠在負性和正性抗性中產生獨特的光學模式。ASML TWINSCAN XT:1250D配有高性能發電機、控制器和軟件,可用於最佳光刻任務。它有一個48英寸的離軸鏡和一個8英寸的標準場鏡頭單元。光學機器基於投影光學，采用折射工具，確保圖像像差最小。投影光學器件的成像能力從175毫米到5毫米不等，使其能夠在晶片上書寫各種圖案。TWINSCAN XT 1250 D設計用於處理玻璃、金屬膜、石英基板等多種基板。它有一個12通道掃描儀，用於控制晶圓在光刻領域的移動。這項資產能夠每秒聚焦10,000 um，還可以處理曝光抑制和模式修正。ASML TWINSCAN XT 1250 D還配備了先進的無散射掃描模型，有助於在平衡離子圖像特性的同時增加曝光時間。其低型加熱設備為晶片表面提供了均勻的溫度，減少了抗弓，提高了暴露精度。嵌入式高級靜電卡盤有助於保持晶片上的恒定壓力，從而實現快速、精確的對準。此外，TWINSCAN XT:1250D還配備了一個高性能的工藝室，能夠以可控的方式有效地消散氣體、液體和熱量，減少汙染，最大限度地提高均勻性。它還具有一個狹窄的帶寬離子源，以改善模式質量。它是一個高度自動化的系統,具有高度的流程控制以及自動化的子場調度功能,可提供高吞吐量和可重復性。