二手 ASML Twinscan XT 1250D #9207817 待售
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ID: 9207817
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
ArF Scanner, 12"
RH Type: Right type
WH Type: SMIF
Workstation type: NETRA V240
Laser type: CYMER Laser
Uniformity: 0.93 % (<0.35 %)
Stray light: 0.53% (<1.0%)
Lens data
Spherical: 0.92 nm (-0.2 to 0.2)
Coma: 0.78 nm (-0.2 to 0.2)
Astigmatism: 1.1 nm (-0.1 to 0.1)
(3) Foils: 0.55 nm (-0.1 to 0.1)
(Z5-Z-37) 2.27 nm (-0.2 to 0.2)
2004 vintage.
ASML Twinscan XT 1250D是用於制造集成電路的晶圓步進器。它是一種先進的光刻設備,能夠在半導體晶片上產生復雜的集成電路模式。ASML TWINSCAN XT:1250D采用四通道激光器,用於曝光感光抗蝕劑。激光從它的四個象限產生曝光,最大分辨率為25 nm。步進器還提供快速掃描速度,加速度為2 m/2 s ²最大速度為100 kHz。這使得TWINSCAN XT 1250 D能夠在幾秒鐘內完成完整的步驟過程,而競爭對手的系統則需要幾分鐘才能完成一個過程。步進器還提供了超過150毫米場尺寸0.15 µm的極其精確的對準精度。這樣可以確保在晶片邊緣打印的特征保持準確,並且不會偏離預期的模式。TWINSCAN XT:1250D的另一個優點是能夠自動調整過程。其算法使系統能夠優化其參數並相應調整其過程,從而實現可重復的結果。這將刪除優化設備和提高生產效率所需的手動步驟。Twinscan XT 1250D能夠在軟硬UV範圍內運行,使其能夠使用各種抗蝕劑和基板。這種多功能性使得步進器適合廣泛的生產需求。ASML TWINSCAN XT 1250 D是一款可靠、耐用的機器,設計運行超過24小時,無需任何維護。它還包括一個高級診斷接口,允許制造商主動監視工具的狀態並在需要時進行更改。總體而言,ASML Twinscan XT 1250D是一種可靠、高效的晶片步進資產,能夠在半導體晶片上產生復雜的集成電路模式,精確度高。它提供快速的掃描速度、自動化的調諧過程,並且可以在軟硬質紫外線範圍內運行,使其適合各種生產需要。
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