二手 ASML Twinscan XT 1400F #293817723 待售

ASML Twinscan XT 1400F是由業界領先的半導體制造和光刻設備制造商ASML設計的晶圓步進器。XT 1400F是ASML生產的第四代平臺技術，被設計為制造高級內存、高級CMOS邏輯、RF器件以及III-V邏輯和電源器件制造的綜合光刻解決方案。XT 1400F晶片步進器利用最大數值孔徑（NA）高達0.75來獲得半導體工業中可達到的最佳分辨率。XT 1400F具有廣泛的鏡頭範圍,能夠提供廣泛的工作焦距,最高範圍可達1450 mm。這種廣泛的焦距允許應用於各種晶圓大小以及廣泛的可用工藝節點。除了高數值孔徑外，XT 1400F通過其快速、高度動態的同步電動機實現可靠、可重復的定位。這些電動機采用0.5納米的高分辨率設計，比傳統的步進器具有更高的精度。XT 1400F的低噪聲、低振動設計使其成為22nm以下生產節點高精度應用的理想選擇。其先進的掩模處理技術提供了準確可靠的叠加測量,保證了頻繁更換掩模所取得的一致工藝結果。XT 1400F結合了ASML最新的跟蹤時代技術和過程可重復性,使其成為市場上質量最高的步進器。它還具有多區域UV源設計,可提供極短的脈沖照明時間,從而改進臨界尺寸控制。XT 1400F還具有IQCAS（串聯質量可控輔助步進器）-ASML獨特、快速調整的系統,可實現快速的周期時間和更經濟高效的吞吐量。使用IQCAS,可以使用串聯掃描儀提供的圖像測量和微調照明設置,自動優化周期時間。總體而言,Twinscan XT 1400F晶片步進器為高級內存、CMOS邏輯、RF和III-V邏輯以及電源設備制造提供了高度可靠、高質量和專業化的解決方案。