二手 ASML Twinscan XT 1400F #9143647 待售
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ID: 9143647
晶圓大小: 12"
I-line wafer stepper, 12"
ArF Exposure tool
Exposure wafer: LP*1/WS*1/Chuck*2/WH*1/RS*1/RH*1/Laser*1
193nm scanner
Photo module
Equipment type: PS-ARF
Missing parts:
Spare assy, auto shutter
Spare assy, beam reverser
Power supply assembly, DC
Power supply, switching, 480V, 3 Phase in, 24V@125A
Spare, LAM 54,471, module assy, 193nm w/EIS, w/LF, AWR
(ARF,SAM)Spare, sam module, 193nm,w/EIS, SAM
Spare,line narrowing module,LNM ,45x
WS Type1,2,3 ss1 XY motor assy
Blower motor assy
ACC MK4 Clean air fan
SPM RS Encoder head top mnt Y1
(2) Spares, blower motor controllers, XL, 56-turn
Assy, resonant charger, XLA-100, 7 joule
(2) Commutators
OC ( ArF)
Spare.assy. ArF 45w laser. long life PA chamber
Spare.assy. ArF 45w laser. long life MO chamber
WH SHB II Assy
MPCR (meas.pos.control rack)
Assy, CAN controller module, lower left optics
Power amp controller PPCA
WS Type 3+4 OXB coupl frame&clamps (XT1400)
WS Type 3+4 open X-beam assy
Spare assembly, MO web
Spare assembly, PA web
Spare, mechanical assy, ISS
DOE 193P ID18 MP2 40-Y FO
Aerial-P XT: 14X0 FO
DOE 193P ID8 MP2 90-X FO
DOE 193P ID7 MP2 90-Y FO
DOE 193P ID5 MP4 30-45 FO
Recipe creator light FO
Exposure FO
Integrated reticle library FO
AUX Port, 12" FOUP/(25) wafers FO
IRIS for Twinscan, 6" FO
Reticle CIDRW hermos (RF) FO
24-Character barcode reader Twinscan
Second laser paddle cymer
ESI EX2600 Hybrid
2005 vintage.
ASML Twinscan XT-1400F是世界領先的晶圓步進器,用於在光掩模上繪制微小的特征圖樣,用於制造集成電路。Twinscan以獨特設計的步進和掃描運動為基礎，使用專利的1比1比例，確保晶圓級的快速、均勻運動。Twinscan XT-1400F還擁有比競爭步進器更大的面積場大小，允許在單個曝光時在單個基板上打印更多的特征。ASML Twinscan XT-1400F集成了高分辨率掃描Artem技術,實現了卓越的吞吐量和更少的假邊。無振動設計可實現最高精度定位,允許打印小至5納米的特征。Twinscan支持包括矽、石英、聚酯薄膜和各種多層基板在內的一系列基板。Twinscan XT-1400F還具有高穩定性的多氣體室和反應性氣體的熱擒縱裝置，提供了最佳的加工時間和均勻的最終微觀結構。而且，光學和偏振器系統允許系統實現精確的偏振控制、高通量和優越的成像質量，而低質量晶圓級則消除了振動中的圖像模糊。ASML Twinscan XT-1400F支持廣泛的曝光參數,能夠以極快的速度持續生成高分辨率圖像。此外，Digital MicroScanner軟件還可以方便操作和精確的系統功能。最後，Twinscan XT-1400F的反向掃描結構導致光掩體和基體上的顆粒汙染程度較低。總體而言,ASML Twinscan XT-1400F是一種最先進的晶圓步進器,它提供卓越的圖像分辨率、卓越的吞吐量、功率效率和最小顆粒汙染的獨特組合。它非常適合在集成電路上創建微觀特征,其豐富的特性技術使其非常適合各種基板。
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