二手 ASML Twinscan XT 1470 #293817832 待售
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ID: 293817832
Lithography system
Numerical Aperture (NA): 0.70-0.93
DCO: ≤4.5
Resolution: 57 nm
Throughput (WPH): 300.
ASML Twinscan XT 1470是一款最先進的晶圓步進器,專為大批量生產先進半導體器件而設計。該工具在光刻過程中起著關鍵作用,這是半導體制造中定義矽晶片上集成電路特征模式的關鍵步驟。XT 1470是ASML最新Twinscan系列的一部分,以其精確度、吞吐量和分辨率能力而聞名,能夠生產尖端的半導體技術。XT 1470的一個關鍵特點是它能夠實現極紫外(EUV)光刻,這使得可以制造更小、更復雜的半導體器件。EUV光刻使用波長約為13.5納米的光,明顯小於傳統光刻系統使用的波長。這使得XT 1470能夠打印尺寸低於10納米的特征,推動了當前半導體技術的極限。XT 1470配備了一個精密的透鏡系統,專門設計用於將EUV光聚焦和成形到矽片上,精度極高。這種透鏡系統包括多個鏡子和光學元件,它們一起工作,以確保光以最小的失真和像差投射到晶圓上。這種精度水平對於生產具有高產率和最佳性能的半導體器件至關重要。除了其先進的鏡頭系統外,XT 1470還配備了高精度晶片級,可以在光刻過程中精確定位和移動矽片。此階段確保圖樣在晶片上的正確位置和對齊方式上打印,從而有助於制造的半導體器件的整體質量和一致性。XT 1470還具有先進的自動化和控制系統,能夠與半導體制造設施中的其他工具實現無縫集成。這種自動化可以實現高吞吐量生產,減少周期時間並提高總體生產率。該工具還配備了高級監控和診斷功能,可幫助用戶快速識別和解決問題,最大限度地減少停機和生產損失。總體而言,Twinscan XT 1470是一款尖端的晶圓步進器,為半導體制造商提供生產最先進的半導體技術所需的能力。憑借其EUV光刻能力、高精度光學、先進的自動化特性,XT 1470處於半導體光刻技術的前列,在推動半導體行業創新方面發揮了重要作用。
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