二手 ASML Twinscan XT 1700i #293652050 待售
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單擊可縮放
ID: 293652050
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
ArF Scanner, 12"
SMIF / FOUP
Projection lens
Material / Chemical: Align
Load Module: EFEM
Process module:
Wafer stage
Reticle stage
Wafer handler
Reticle handler
AOM Laser
Bottom module spacer
EIM
ELEC
Utility:
CYMER XLA360 Excimer laser
BSM
ACC
ENTEGRIS E51004802 Charcoal filter
AERONIX EGPS
MCWC
LCWC
WSRC
RSRC
MDC
WICC
WISC
2006 vintage.
ASML Twinscan XT 1700i晶片步進器是一種高度先進的晶片加工機,旨在生產具有卓越精度和細節水平的晶片。該機器能夠處理範圍廣泛的晶圓尺寸,並且具有高精度和重復性,可以生產出種類繁多、特征尺寸極其精細的設備。XT 1700i由高性能、高速精密電機及相關運動設備驅動。這樣可以在整個掃描範圍內快速一致地移動,以確保高精度。它的電動機被設計為確保最小的振動和高達300納米每秒的連續掃描速度。該機器還可以快速、方便地進行改裝,以滿足各種不同晶片和生產工具的需求。機器還裝有先進的晶圓處理系統。這樣可以快速、高效地加載和卸載晶片,以及對晶片進行精確的對準、間距和傾斜調整。它還具有一個特殊的模式跟蹤對準單元,可確保每個晶圓上精確復制所需的模式。XT 1700i還配備了先進的對焦控制算法和高速成像技術。這些功能即使具有難以陣列化的基板(如DRAM和3D結構),也可實現極高的性能水平。XT 1700i還具有多種高科技計量技術,以確保輸出晶片符合嚴格的標準。其中包括外觀計量機、光譜計量儀和全剖面儀。此資產為用戶提供了晶圓表面質量和微小設備關鍵特征尺寸的高精度測量。此外,XT 1700i擁有先進的環境控制模型。該設備采用高度先進的主動冷卻系統,以確保機器在最佳溫度下運行,並保護晶片免受灰塵和其他汙染物的侵害。總而言之,Twinscan XT 1700i是一臺極其先進的晶圓加工機,能夠以卓越的精度和精確度生產出極高品質的晶圓。適用於廣泛的應用,其先進的計量和環境控制系統確保其達到質量和可靠性的最高標準。
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