二手 ASML Twinscan XT 1700i #293812028 待售

ASML Twinscan XT 1700i晶片步進器是一種先進的高分辨率光刻機，用於在半導體晶片上創建精確的圖樣。這種設備利用各種各樣的成像和照明技術來處理各種材料和層的基板。先進的Twinscan XT 1700i配備了專有的等離子源浸入式光刻（PSIL），這是一種在較大基板上創建圖樣的高效且經濟高效的工藝。PSIL可實現精細特性的精確成像,同時保持高吞吐量。它還利用一個燈塔光學系統，在一個大的區域提供均勻的照明，允許更精確和精確的成像。ASML Twinscan XT 1700i配備了業界領先的Z掃描儀，能夠移動x、y和z軸中的大基板，使其能夠三維掃描。這種提高的精度確保了整個基板被捕獲和任何產生的缺陷被最小化。此外,設備內的晶片介質處理程序可同時處理多達7個6英寸晶片和8個8英寸（200毫米）晶片。Twinscan XT 1700i能夠快速準確地獲取數據,其卓越的特征分辨率可達到25 nm。它還擁有通過各種照明類型，如KrF、ArF、高數值孔徑離軸照明和PSIL照射所實現的廣泛曝光，這些照射導致了相當高的清晰度和細節。最後,ASML Twinscan XT 1700i憑借其專有的Nano-Tempo節能技術實現了節能,該技術可確保機器利用適當的功率以最大程度地減少功耗並進一步提高其速度,每小時可超過30個晶圓的速度。其精確的成像、能效和精確的特征分辨率相結合，使得Twinscan XT 1700i成為高速半導體晶圓制造的理想工具。