二手 ASML Twinscan XT 1900 #293817829 待售
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ID: 293817829
Lithography system
Numerical Aperture (NA): 1.35
DCO: ≤4.6
Resolution: 36.5 nm
Throughput (WPH): 131.
ASML Twinscan XT 1900是一種尖端晶圓步進器,代表了半導體光刻領域的重大進步。Twinscan XT 1900由光刻設備的領先制造商ASML開發,旨在滿足先進半導體制造工藝的苛刻要求,包括用於生產功能尺寸不超過7納米的集成電路(IC)的要求。ASML Twinscan XT 1900的核心是其先進的投影鏡頭設備,能夠實現卓越的分辨率和成像保真度。該系統采用了復雜的折射設計,融合了折射和反射光學元件,以最大程度地減少像差和失真,從而降低圖像質量。此設計允許Twinscan XT 1900實現高數值孔徑(NA)值,使其能夠以卓越的精度解析晶圓上的精細特征。ASML Twinscan XT 1900的關鍵啟用技術之一是其先進的照明單元,它在塑造用於在晶片上曝光光刻膠的光方面起著關鍵作用。該機具有可編程照明模式,包括各種形式的離軸照明,可針對不同的圖案要求進行優化。這使得Twinscan XT 1900能夠在廣泛的陣列幾何形狀和間距上實現卓越的成像性能。除了其先進的光學和照明工具外,ASML Twinscan XT 1900還配備了高度穩定和精確的晶圓級。該級能夠以亞納米精度移動晶片,使資產在曝光過程中能夠精確定位晶片在投影透鏡下。晶片級還具有動態補償機制,以盡量減少振動和其他誤差源,確保以最高精度進行曝光過程。Twinscan XT 1900還設計用於支持多種圖案技術,如浸入式光刻和極紫外線(EUV)光刻。這些技術使半導體制造商能夠在其IC設計中實現更精細的特征大小和更高水平的集成。該模型與廣泛的光刻材料和工藝兼容,使制造商能夠靈活地適應不斷變化的技術要求。在吞吐量和生產率方面,ASML Twinscan XT 1900專為大批量制造環境而設計。該設備具有先進的自動化功能,包括晶圓處理系統和軟件控制,可幫助簡化光刻工藝並最大程度地減少停機時間。該系統還具有可靠和易於維護的特點,具有強大的組件和診斷功能,可實現快速故障排除和服務。總體而言,Twinscan XT 1900代表了一種用於半導體光刻的最先進的解決方案,為生產高級IC提供了無與倫比的分辨率、精度和靈活性。它結合了先進的光學、照明和自動化技術,使其成為處於技術創新前沿的半導體制造商的通用且功能強大的工具。
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