二手 ASML Twinscan XT 850F #9211428 待售
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ID: 9211428
晶圓大小: 12"
KrF Scanner, 12"
Laser: CYMER ELS-7610K (40W)
Machine type: MES XT850F
Power: 400V.
ASML Twinscan XT 850F是一種精確的晶圓步進器,旨在承受極端的工藝條件.它是一種用於先進半導體光刻應用的高分辨率晶圓步進器。XT 850F具有高保真成像設備,可提供高達28nm的高音高分辨率特性。該系統的光學系統利用先進的ACIS技術來實現最好的圖樣邊緣放置精度。Twinscan XT 850F利用基於FOUP(前開口統一窗蓋)的強大平臺和自動批次驗收測試來保證過程的均勻性和缺陷控制。它還具有先進的檢查單元和自動晶圓處理系統,以最小的用戶幹預提供快速的裝卸時間。步進器利用高度先進的工藝控制技術,使光刻工藝更加可靠可靠。晶片步進器結合了數據分析和多圖案化層保真度,為提高設備的復雜性而設計,從而實現了快速的現場反饋。XT 850F的強大功能集旨在最大限度地提高任何吞吐量環境的吞吐量。XT 850F具有一套交互式遠程支持功能,允許用戶在調整其設置時從遠程支持人員中受益。此功能旨在減少解決技術問題的時間,並通過允許用戶快速調整機器設置以適應不斷變化的過程條件來確保最佳吞吐量。ASML Twinscan XT 850F是一種多功能晶片步進器,具有強大的工藝控制技術,結合高精度、高吞吐量和遠程支持能力,使其成為先進半導體器件制造光刻的理想工具。
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