二手 ASML Twinscan XT2 1700FI #293620719 待售
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單擊可縮放
ID: 293620719
晶圓大小: 8"
優質的: 2007
Stepper, 8"
Notch wafer
CYMER XL 360 Laser
DNS / DAINIPPON RF 300/200 Wafer track interface
Chemical sampling port
Water cooling for electric cabinet
Universal pre-alignment
Mark sensor
Integrated reticle library
IRIS Reticle, 6"
Recipe creator
EFESE
Polarization metrology
Image tuner
Grid mapper
Dose mapper
AGILE
Lithocruiser
Carrier interface: 25-Wafer open cassette kit
Oiu / Reticle: Right configuration
Power supply: 400 V
2007 vintage.
ASML Twinscan XT2 1700FI是為高產芯片生產而設計的領先晶圓步進器。它能夠每小時生產高達4.25毫米的晶片，最大線寬為350 nm。它的晶片鱗片範圍從200毫米到450毫米，允許最佳生產廣泛的芯片陣列。XT2 1700FI是圍繞ASML AArrid™暴露控制設備構建的，它允許用戶準確控制劑量分布和對準。該系統使用專有的快速掃描算法,從而減少了所需的曝光時間。其較小的掃描尺寸使線條更細,邊緣敏銳度更好。曝光功率也是可調的，允許用戶以嚴格的精度生產芯片。XT2 1700FI還帶有一個有源誤差補償單元，它減少了加工變化和振動引起的錯位。這臺機器估計將減少多達25%的誤配。該XT2 1700FI還采用了ASML質量保證工具（QAS）,旨在自動收集和報告數據,以便進行反饋控制。此資產允許芯片制造商從生產數據中學習以優化生產過程。XT2 1700FI設計用於潔凈室環境,能夠在285 nm至455 nm波長範圍內運行。它還配備了靈活的預對齊子系統，可以補償階段錯誤和錯位，同時還支持多模具應用。XT2 1700FI是高度可靠的,平均故障間隔時間（MTBF）為1,000,000次。而且，它是高度可控的，主動枯萎覆蓋率為94.1%，Q值為5.04。最後,ASML TWINSCAN XT 2 1700 FI提供了廣泛的特性和功能,使其成為高收益芯片生產的可靠且經濟高效的選擇。
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