二手 ASML XT 1250 #9293667 待售

ASML XT 1250是一種先進的晶圓步進器，旨在為微電子器件制造提供高度精確的光刻技術。它是一種掃描顯微鏡，能夠以0.25微米的分辨率成像晶片。步進器專為290nm UV短波長範圍而配置，使其能夠高精度地成像甚至納米結構特徵。ASML XT1250是一個雙階段系統,具有主基礎階段和次要子階段。這種組合允許系統在快速掃描過程中獲取和保持穩定,同時實現清晰成像的模式。主基級依靠壓電進行運動控制，而子級則利用閉環反饋電動機進行精確定位。XT 1250還具有主動設備對準功能，以納米精度檢查相鄰設備的位置。這臺機器由一臺基於激光的Zernike幹涉儀提供動力，能夠在降低的曝光水平下進行極其精確的成像和制圖。這種低功率激光器消除了由於熱漂移而產生成像偽影的可能性。此外,步進器還具有原位晶圓成像功能,允許實時檢測成像錯誤,並允許用戶進行相應調整。XT1250還具有先進的過程控制和光學軟件,為用戶提供有關透鏡行為、粒度分布和成像分辨率的信息。此外，該軟件允許用戶調整關鍵參數，如焦點和數值孔徑，以優化工藝性能。最後，該系統配備了一系列安全功能，如物體檢測和眼睛保護，以防範潛在危害。總體而言,ASML XT 1250是一款功能強大的晶圓步進器,具有多種功能,可確保精確的成像和高級工藝控制。